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MKS流量计,多气体,多范围质量流量控制器
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产 品: 浏览次数:2427MKS流量计,多气体,多范围质量流量控制器 
品 牌: MKS 
单 价: 面议 
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更新日期: 2023-07-24 21:13  有效期至:长期有效
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详细信息
 MKS流量计,多气体,多范围质量流量控制器
 
多气体,多范围,弹性体密封,50 - 50,000 sccm质量流量控制器
 
G系列GE50A数字控制质量流量控制器可提供RS485,Profibus,EtherCAT或DeviceNetI / O. 数字控制电子设备利用 新的MKS控制算法,在整个设备控制范围内对设定点进行快速,可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。
 
流速从5到50,000 sccm
Viton,Buna,氯丁橡胶或Kalrez的密封和阀塞选项
建立时间小于750毫秒
标准封闭电导泄漏率小于满量程的0.1%
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